В работе посредством просвечивающей электронной микроскопии, оптической микроскопии и рентгеновской топографии исследовались нелегированные бездислокационные монокристаллы бестигельного кремния. Кристаллы были получены с различными скоростями роста (от 1.0 до 9.0 мм/мин) и подвергались различным термообработкам. Экспериментально определены температуры образования микродефектов различных типов, а также установлен механизм трансформации межузельных микродефектов. На основании литературных данных и новых результатов, полученных авторами, установлено, что образование микродефектов в кремнии происходит по двум независимым механизмам: вакансионному и межузельному. В результате обоих механизмов образуются D-микродефекты в виде межузельных агломератов. Предположено, что критический параметр V/G = Ccrit описывает условия появления/исчезновения вакансионных микродефектов. На основании этих результатов предложена физическая модель образования микродефектов в бестигельном кремнии и обсуждены другие известные модели.