С помощью селективного травления и просвечивающей электронной микроскопии тщательно исследовались бездислокационные кристаллы кремния диаметрами 50 и 80 мм, выращенные методом Чохральского. Кристаллы был выращены с различными скоростями роста и подвергались затем различным обработкам (термическим обработкам, ионной имплантации). Определена физическая природа (положительный/отрицательный знак искажения кристаллической решётки) ростовых микродефектов внутри и снаружи OSF-кольца. Обнаружено, что фоновые примеси кислорода и углерода оказывают определяющее воздействие на механизм образования ростовых микродефектов. Показано, что кристаллы могут расти в межузельном и межузельно-вакансионном режимах. Уточнена схема трансформации ростовых микродефектов.